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Wafer-Scale epitaxial molybdenum disulfide ultrathin film on sapphire prepared by low-energy reactive magnetron sputtering

蓝宝石二硫化钼外延材料科学薄脆饼溅射腔磁控管光电子学溅射沉积钼二硫化钨低能薄膜化学工程纳米技术冶金光学图层（电子）激光器物理工程类原子物理学

作者

Chao-Chin Wang,Chih‐Hao Lee

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2024-03-14 卷期号：659: 159889-159889 被引量：2

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2024.159889

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