Calibration and correction of geometric errors in laser tracker

为了提高激光跟踪仪坐标测量精度，分析了跟踪仪的几何结构误差，研究了横竖轴平移误差、横竖轴倾斜误差、激光平移误差和激光倾斜误差的标定和修正方法。利用几何分析法建立了几何结构误差模型，基于投影图像测量仪和检棒、PSD搭建了几何误差参数的标定装置，实现对几何误差的快速自动高精度标定及补偿。最后，利用误差标定实验测量出的几何误差代入误差补偿模型，与标尺的长度进行比对分析。实验结果表明：经几何误差修正后的跟踪仪坐标测量误差从13 μm/m 减小到4 μm/m 以内，测量精度约提升了9 μm/m ，验证了几何误差标定和修正方法的正确性，该方法可以提高激光跟踪仪的坐标测量精度。