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High-Energy Ion Implantation Using Electrostatic Accelerators

离子能量（信号处理）材料科学离子注入核工程物理工程类量子力学

作者

D. Steski,Thomas Kubley,Charles Carlson,Florian Krippendorf,M. Rüb,R.C. Koch,Reza Ghandi

出处

期刊：The Materials Research Society Series 日期：2025-01-01 卷期号：: 361-376

标识

DOI：10.1007/978-3-031-83056-3_16

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