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Deformable mirror driven by piezoelectric thin film based on multi-electrode array

压电电极材料科学薄膜电极阵列光电子学纳米技术复合材料物理量子力学

作者

Xiang Guo,Hongbo Yin,Maoying Li,Isaku Kanno,Dehui Wang,Shiping Jiang,Yuanlin Xia,Zhuqing Wang

出处

期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2024-09-04 卷期号：379: 115876-115876 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.sna.2024.115876

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