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Soft X-ray absorption and fragmentation of tin-oxo cage photoresists

笼子 锡 碎片（计算） 光激发 光刻胶 化学 吸收（声学） 电离 材料科学 X射线 光化学 原子物理学 纳米技术 激发态 光学 物理 离子 图层（电子） 有机化学 操作系统 计算机科学 数学 复合材料 组合数学
作者
Jarich Haitjema,Sonia Castellanos,Olivier Lugier,Ivan Bespalov,Rebecka Lindblad,Martin Timm,Christine Bülow,Vicente Zamudio‐Bayer,J. Tobias Lau,Bernd von Issendorff,R. Hoekstra,Katharina Witte,Benjamin Watts,Thomas Schlathölter,Albert M. Brouwer
出处
期刊：Physical Chemistry Chemical Physics [Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01 卷期号：26 (7): 5986-5998 被引量：4
链接
rsc.org nih.gov rug.nl arcnl.nl lib4ri.ch lu.sedoi.org
标识
DOI：10.1039/d3cp05428d
摘要
K-edge photoexcitation of n -butyltin-oxo cage photoresist cores leads to (multiple) ionization and butyl group loss.
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