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作者
Zhen-Jie Lian,
Shih-Yu Hung,
Ming-Ho Shen,
Hsiharng Yang
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2013-11-08
卷期号：115: 46-50
被引量：45
标识
DOI：10.1016/j.mee.2013.10.025
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