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作者
S. James Gates,
Satyavolu S. Papa Rao,
V. Anandan,
Mahadevaiyer Krishnan,
S. Cohen,
Y. Ostrovski,
N. Klymko,
M. A. Chace,
D. Canaperi
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2011-10-31
卷期号：91: 82-88
被引量：11
标识
DOI：10.1016/j.mee.2011.08.005
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