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Metal‐Organic Vapor Phase Epitaxy (MOVPE) Growth
金属有机气相外延
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作者
C. D. Maxey
标识
DOI：10.1002/9780470669464.ch6
摘要
This chapter contains sections titled: Requirement for epitaxy History Substrate choices Reactor design Process parameters Metal-organic sources Uniformity Reproducibility Doping Defects Annealing In situ monitoring Conclusions References
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