Characteristics and surface energy of silicon-doped diamond-like carbon films fabricated by plasma immersion ion implantation and deposition

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作者
Guojiang Wan,Ping Yang,Ricky K.Y. Fu,Yongfeng Mei,Teng Qiu,S.C.H. Kwok,Joan P.Y. Ho,Nan Huang,Xinglong Wu,Paul K. Chu
出处
期刊:Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
卷期号:15 (9): 1276-1281 被引量:54
标识
DOI:10.1016/j.diamond.2005.09.042
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