亲爱的研友该休息了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整地填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!身体可是革命的本钱,早点休息,好梦!

A high-sensitive ultra-thin MEMS capacitive pressure sensor

作者
Y. Zhang,R. Howver,Bedanta Gogoi,N. Yazdi
标识
DOI:10.1109/transducers.2011.5969151
摘要

This paper reports an ultra-thin MEMS capacitive pressure sensor with high pressure sensitivity of better than 150aF/Pa, and small die size of 1.0mm × 1.0mm × 60µm. It is able to detect ambient pressure change with a resolution of 0.025% in a pressure range +/−3.5KPa. This capacitive pressure sensor decouples the pressure sensing from its capacitance sensing by using a hermetically sealed capacitor that is electrically isolated but mechanically coupled with a pressure sensing diaphragm such that a large dynamic range and high pressure sensitivity can be readily achieved. Because the capacitor is hermetically sealed in a cavity, this capacitive pressure sensor is also immune to measurement media and EMI (Electromagnetic Interference) effects.

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
Lucas应助高大诗柳采纳,获得10
3秒前
研友_ZGmoVL完成签到,获得积分10
3秒前
尔白完成签到 ,获得积分10
4秒前
柔弱的妙旋完成签到,获得积分10
12秒前
18秒前
ne发布了新的文献求助10
24秒前
28秒前
高大诗柳发布了新的文献求助10
33秒前
着急的水桃完成签到,获得积分10
35秒前
zxw完成签到,获得积分10
37秒前
李健应助研友_惊鸿采纳,获得10
40秒前
无语的巨人完成签到 ,获得积分10
46秒前
ming2026应助张二十八采纳,获得10
49秒前
今后应助菜园子采纳,获得10
50秒前
xmsyq完成签到 ,获得积分10
54秒前
zrssovereign完成签到 ,获得积分10
56秒前
Alicezzz应助张二十八采纳,获得10
58秒前
Wtt关闭了Wtt文献求助
1分钟前
dandan完成签到,获得积分10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
研友_惊鸿发布了新的文献求助10
1分钟前
dandan发布了新的文献求助10
1分钟前
henry完成签到,获得积分10
1分钟前
洁净友蕊完成签到,获得积分10
1分钟前
丘比特应助梅豆采纳,获得10
1分钟前
科研通AI6.2应助Criminology34采纳,获得200
1分钟前
1分钟前
1分钟前
ccczzz应助科研通管家采纳,获得10
1分钟前
1分钟前
Orange应助研友_惊鸿采纳,获得10
1分钟前
1分钟前
梅豆发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
D调的华丽发布了新的文献求助10
1分钟前
D调的华丽发布了新的文献求助10
1分钟前
D调的华丽发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
APA handbook of comparative psychology: Basic concepts, methods, neural substrate, and behavior 1000
Health Psychology 1000
全员动态考核,锚定高质量发展:读懂同济大学教师人事改革新政的深层价值 900
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
The fast track to determining transfer functions of linear circuits: The student guide 500
Römisch-Germanische Forschungen 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7597402
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9174106
关于积分的说明 19640162
捐赠科研通 7174345
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3268235
关于科研通互助平台的介绍 2432792
邀请新用户注册赠送积分活动 2261463