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Properties and characterization of low-temperature amorphous PECVD silicon nitride films for solar cell passivation
作者
Syed Iftekhar Ali,
Majid Gharghi,
S. Sivoththaman,
Khalil Zeaiter
出处
期刊：
Journal of Materials Science
[Springer Science+Business Media]
日期：2005-03-01
卷期号：40 (6): 1469-1473
被引量：14
标识
DOI：10.1007/s10853-005-0585-z
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