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作者
M. Martínez-Gil,
D. Cabrera-Germán,
Maria Isabel Pintor‐Monroy,
J.A. García-Valenzuela,
M. Cota–Leal,
W. de la Cruz,
Manuel Quevedo-López,
R. Pérez‐Salas,
M. Sotelo-Lerma
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2019-11-15
卷期号：107: 104825-104825
被引量：40
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2019.104825
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