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Ferroelectric switching behavior in GaN HEMTs with CMOS-compatible Hf0.5Zr0.5O2/Al2O3 dielectric layer
材料科学
电介质
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作者
Fang Ye,
Sitong Chen,
Tian Luo,
Ge Gao,
Ji Li,
Fanping Meng,
Li Chen,
Wei Guo,
Jichun Ye
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期：2025-05-16
卷期号：705: 163556-163556
被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2025.163556
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