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Atomic layer deposition of Ru/rutile Al-TiO2/Ru layer stacks for high-performance silicon capacitors

材料科学原子层沉积图层（电子）金红石电容器硅沉积（地质）光电子学纳米技术化学工程电压电气工程沉积物生物工程类古生物学

作者

Taehyun Kim,Dong-Hwan Lim,Hyeongjun Kim,Hyunmin Nah,Heun Park,Yoon Jang Chung,Woongkyu Lee

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2025-05-03 卷期号：195: 109646-109646

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2025.109646

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