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mCFET inner spacer cavity etch: process development and challenges
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作者
Pallavi Puttarame Gowda,
Steven Demuynck,
Mohamed Saib,
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A.K. Abdel-Gawad,
Naveen Reddy,
Alina Arslanova,
Alexis Franquet,
Rita Tilmann,
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Bonilla Ramirez,
Camila Cavalcante,
Andy Peng,
Dmitry Batuk,
Reda Boufadil,
Lucas Petersen Barbosa Lima,
Naoto Horiguchi,
S. Biesemans,
Efrain Altamirano Sánchez
标识
DOI：10.1117/12.3055311
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