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作者
Asma Ben Amor,
Hadia Hemmami,
Ilham Ben Amor,
Soumeia Zeghoud,
Ali Alnazza Alhamad,
Mohamed Belkacem,
Navya S. Nair,
A.B. Sruthimol
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2024-09-23
卷期号：185: 108945-108945
被引量：30
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.108945
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