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Scalability comparison between raised- and embedded-SiGe source/drain structures for Si 0.55 Ge 0.45 implant free quantum well pFET
可扩展性
光电子学
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作者
Shimpei Yamaguchi,
L. Witters,
Jérôme Mitard,
Geert Eneman,
Geert Hellings,
Andriy Hikavyy,
Roger Loo,
Naoto Horiguchi
出处
期刊:
Microelectronics Reliability
[Elsevier BV]
日期:2018-03-20
卷期号:83: 157-161
被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.microrel.2018.03.006
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