Grain refinement with increasing magnetron discharge power in sputter deposition of nanostructured titanium aluminium nitride coatings

作者
Richard Wuhrer,Wing Yiu Yeung
出处
期刊:Scripta Materialia [Elsevier BV]
卷期号:50 (6): 813-818 被引量:44
标识
DOI:10.1016/j.scriptamat.2003.12.022

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