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Preparation of TaO2 thin films using NbO2 template layers by a pulsed laser deposition technique

X射线光电子能谱 材料科学 薄膜 脉冲激光沉积 无定形固体 外延 结晶 四方晶系 纳米技术 光电子学 图层(电子) 化学工程 结晶学 晶体结构 化学 工程类
作者
Yuji Muraoka,Yasutaka Fujimoto,M. Kameoka,Yuji Matsuura,Masanori Sunagawa,Kensei Terashima,Takanori Wakita,T. Yokoya
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier]
卷期号:599: 125-132 被引量:8
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2015.12.066
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