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Investigation on HfO2 properties grown by ALD using TDMAH as precursor

原子层沉积 单斜晶系 无定形固体 材料科学 退火（玻璃） 结晶 薄膜 折射率 化学工程 光电子学 纳米技术 结晶学 复合材料 晶体结构 化学 工程类
作者
Yanrui Li,Songwen Deng,Jun‐Tao Li,Gang Li,Shaoqian Zhang,Yuqi Jin
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2022-06-10 卷期号：203: 111243-111243 被引量：13
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2022.111243
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