Enhancement of electrical properties of SnO2 ultra-thin film grown by thermal atomic layer deposition

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作者
Hyeong Woo Lee,Sungjun Kim,Jeha Kim,Eundo Kim
出处
期刊:Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
卷期号:82 (3): 280-285 被引量:2
标识
DOI:10.1007/s40042-022-00672-y
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