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Effect of Hf element introduction on structure and properties of TaNx coating by DC reactive magnetron sputtering
材料科学
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作者
Cheng Meng,
Fang‐Ming Wang,
Yuhang Ma,
Kai Xu,
Keke Chang,
Yebiao Zhu,
Jinlong Li
出处
期刊：
Ceramics International
[Elsevier BV]
日期：2024-12-07
卷期号：51 (5): 6352-6364
被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2024.12.081
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