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Coupled modeling of solvent evaporation and thin film evolution in spin coating

旋涂 蒸发 材料科学 溶剂 涂层 薄膜 自旋（空气动力学） 化学工程 纳米技术 机械工程 工程类 热力学 化学 有机化学 物理
作者
Ping Zhou,Qiuyu Liu,Zhengyu Zhang
出处
期刊：Applied Thermal Engineering [Elsevier BV]
日期：2025-07-26 卷期号：279: 127662-127662 被引量：5
标识
DOI：10.1016/j.applthermaleng.2025.127662
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