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Improvement of the crystalline quality of an yttria-stabilized zirconia film on silicon by a new deposition process in reactive sputtering

作者

Susumu Horita,Toshiyuki Tajima,Masakazu Murakawa,Takaharu Fujiyama,Tomonobu Hata

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：1993-06-01 卷期号：229 (1): 17-23 被引量：35

标识

DOI：10.1016/0040-6090(93)90402-b

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