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Atomic layer deposition of transition metals

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作者
Booyong S. Lim,Antti Rahtu,Roy G. Gordon
出处
期刊：Nature Materials [Nature Portfolio]
日期：2003-10-26 卷期号：2 (11): 749-754 被引量：654
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1038/nmat1000
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