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Monolithic back-end-of-line integration of phase change materials into foundry-manufactured silicon photonics

材料科学硅光子学光子学光电子学生产线后端调制（音乐）光子集成电路薄脆饼波导管硅计算机科学电子工程工程类物理电介质声学

作者

Maoliang Wei,Kai Xu,Bo Tang,Junying Li,Yiting Yun,Peng Zhang,Yingchun Wu,Kangjian Bao,Kunhao Lei,Zequn Chen,Hui Ma,Chunlei Sun,Ruonan Liu,Ming Li,Lan Li,Hongtao Lin

出处

期刊：Nature Communications [Nature Portfolio]
日期：2024-03-30 卷期号：15 (1) 被引量：22

链接

nature.com nature.com nih.govdoi.org

标识

DOI：10.1038/s41467-024-47206-7

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