Monolithic back-end-of-line integration of phase change materials into foundry-manufactured silicon photonics

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作者
Maoliang Wei,Kai Xu,Bo Tang,Junying Li,Yiting Yun,Peng Zhang,Yingchun Wu,Kangjian Bao,Kunhao Lei,Zequn Chen,Hui Ma,Chunlei Sun,Ruonan Liu,Ming Li,Lan Li,Hongtao Lin
出处
期刊:Nature Communications [Nature Portfolio]
卷期号:15 (1) 被引量:22
标识
DOI:10.1038/s41467-024-47206-7
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