A distinctive material removal mechanism in the diamond grinding of (0001)-oriented single crystal gallium nitride and its implications in substrate manufacturing of brittle materials

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作者
Yueqin Wu,Qijian Rao,Zhiyuan Qin,Shuiping Tan,Guoqin Huang,Hui Ping Huang,Xipeng Xu,Han Huang A
出处
期刊:International Journal of Machine Tools & Manufacture [Elsevier BV]
卷期号:203: 104222-104222 被引量:48
标识
DOI:10.1016/j.ijmachtools.2024.104222
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