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Fused Silica Container Material with Al2O3 Nanofiber Additions for Semiconductor Technologies

容器（类型理论）纳米纤维半导体材料科学化学工程纳米技术冶金复合材料光电子学工程类

作者

E. Yu. Podshibyakina,А. Ф. Шиманский,М. Н. Васильева,M. M. Simunin,Р. Г. Еромасов,T. V. Bermeshev

出处

期刊：Inorganic Materials [Springer Nature]
日期：2024-07-01 卷期号：60 (7): 915-919

标识

DOI：10.1134/s0020168524701085

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