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Correlation coefficient algorithm for high-precision white-light interferometry

干涉测量 白光 白光干涉法 光学 相关系数 计算机科学 光学工程 算法 相关性 物理 数学 几何学 机器学习
作者
Jingxuan Duan,Jiao Jiao,LeKang Qing,Na Yao
出处
期刊：Optical Engineering [SPIE - International Society for Optical Engineering]
日期：2025-06-11 卷期号：64 (06)
标识
DOI：10.1117/1.oe.64.6.064103
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