SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
Electron-beam-induced current (EBIC) imaging technique to quicken polysilicon defect localization in MOSFETs
电子束感应电流
材料科学
光电子学
晶体管
电阻式触摸屏
聚焦离子束
多晶硅耗尽效应
MOSFET
半导体器件
荫罩
扫描透射电子显微镜
硅
透射电子显微镜
电气工程
光学
纳米技术
栅氧化层
电压
化学
离子
物理
有机化学
图层（电子）
工程类
作者
Shijun Zheng,
Ran Chen,
Junyang Yang,
Yanfen Wang,
Yi Che,
Mei Du,
Tian Li,
Lin Zhai,
Jinglong Li
出处
期刊：
Microelectronics Reliability
[Elsevier BV]
日期：2021-11-22
卷期号：128: 114432-114432
被引量：7
标识
DOI：10.1016/j.microrel.2021.114432
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
打打
的
应助
被
zjx
采纳，获得
10
刚刚
鲜艳的乐珍
完成签到，获得积分
10
2秒前
null
上传了
应助文件
3秒前
St
上传了
应助文件
6秒前
null
上传了
应助文件
20秒前
彭于晏
上传了
应助文件
36秒前
无语的新之
完成签到，获得积分
10
38秒前
醉熏的孤云
完成签到，获得积分
10
39秒前
体贴太英
发布了新的
文献求助
10
42秒前
体贴太英
完成签到，获得积分
10
48秒前
脑洞疼
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1分钟前
复杂芷文
完成签到，获得积分
10
1分钟前
星辰大海
的
应助
被
无言
采纳，获得
10
1分钟前
null
上传了
应助文件
1分钟前
高兴的曼冬
完成签到，获得积分
10
1分钟前
null
上传了
应助文件
1分钟前
Bismarck
完成签到，获得积分
10
1分钟前
酷炫安雁
完成签到，获得积分
10
1分钟前
黄jw
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
null
上传了
应助文件
2分钟前
Shafey
发布了新的
文献求助
30
2分钟前
St
上传了
应助文件
2分钟前
FashionBoy
的
应助
被
Linson
采纳，获得
10
2分钟前
冷傲的忆安
完成签到，获得积分
10
2分钟前
天真的音
完成签到，获得积分
10
2分钟前
null
上传了
应助文件
2分钟前
李春宇
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
liuye0202
完成签到，获得积分
10
2分钟前
null
上传了
应助文件
2分钟前
天天快乐
上传了
应助文件
2分钟前
开心柏柳
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
典雅依玉
完成签到，获得积分
10
2分钟前
开心柏柳
完成签到
，获得积分
10
3分钟前
超帅的幻枫
完成签到，获得积分
10
3分钟前
null
上传了
应助文件
3分钟前
wanci
的
应助
被
Tt
采纳，获得
10
3分钟前
St
完成签到，获得积分
10
3分钟前
周亚平
发布了新的
文献求助
10
3分钟前
Linson
完成签到，获得积分
10
3分钟前
迷人白桃
完成签到，获得积分
10
3分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Navigating Normative Orders. Interdisciplinary Perspectives
800
Organizational Behavior
510
Management and the Arts
510
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
510
CLSI VET01S-2024 Performance Standards for Antimicrobial Disk and Dilution Susceptibility Tests for Bacteria Isolated From Animals (7th Ed)
500
A Case Study on Hotels as Noncongregate Emergency Living Accommodations for Returning Citizens
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7754374
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9300981
关于积分的说明
20259849
捐赠科研通
7336800
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3310808
关于科研通互助平台的介绍
2461994
邀请新用户注册赠送积分活动
2324032
今日热心研友
Kao
71
20
aajhajkahna
41
30
秋风
18
260
无极微光
12
260
Criminology34
310
GingerF
7
200
null
26
印第安老斑鸠
17
60
FIN
220
初景
8
148
cdercder
190
乐空思
150
Nole
6
90
XX
120
DW
7
50
年轻的煎饼
6
30
七月流火
80
曾恒敬
8
kekekekekeke
80
OK
80
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
aajhajkahna
秋风
无极微光
Criminology34
GingerF
null
印第安老斑鸠
FIN
初景
cdercder
乐空思
Nole
XX
DW
年轻的煎饼
七月流火
曾恒敬
kekekekekeke
OK
皖公网安备34019202002308
