Carrier Gas Modulated Surface Dynamics and Crystalline Quality of (100) β-Ga2O3 Homoepitaxial Films via MOCVD

金属有机气相外延 材料科学 扩散 表面粗糙度 化学物理 表面光洁度 表面扩散 动力学 工作(物理) 光电子学 串联 外延 扩散过程 纳米技术 振荡(细胞信号) 结晶学 邻接 质量(理念) 凝聚态物理 曲面(拓扑) 分子物理学 载流子寿命 晶体孪晶 流量(数学) 动力学(音乐) 曲面重建
作者
Ying Zhou,Yunlong He,Jing Sun,Xiaoli Lu,Zhan Wang,Yang Liu,Jinwei Liu,Ke Qin,Zhuowen Huang,Jiwei Jiang,Zhu Jin,Hui Zhang,Xuefeng Zheng,Xiaohua Ma,Yue Hao
出处
期刊:Social Science Research Network [RELX Group (Netherlands)]
标识
DOI:10.2139/ssrn.6901662
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