Preparation of Conductive LaNiO3 Thin Films by Using Reactive RF Magnetron Sputtering with La and Ni Metals

材料科学 溅射 溅射沉积 导电体 腔磁控管 薄膜 光电子学 高功率脉冲磁控溅射 复合材料 纳米技术
作者
Heesan Kim,Jai-Hyun Kim,Woong Kil Choo
出处
期刊:Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
卷期号:43 (5): 847-849 被引量:8
标识
DOI:10.3938/jkps.43.847

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