Target ablation characteristics during pulsed laser deposition of thin films

材料科学 脉冲激光沉积 薄膜 烧蚀 激光烧蚀 沉积(地质) 光电子学 激光器 光学 纳米技术 航空航天工程 物理 沉积物 生物 工程类 古生物学
作者
Zhang Duan-Ming,Hou Si-Pu,Li Guan,Zhicheng Zhong,Zhihua Li,Fengxia Yang,Zheng Ke-Yu
出处
期刊:Chinese Physics [Science Press]
卷期号:53 (7): 2237-2237 被引量:6
标识
DOI:10.7498/aps.53.2237
摘要

The whole ablation process of target heated by pulsed lasers is studied in this paper. Under the appropriate dynamic boundary conditions, have been investigated in detail the heat flow equation with heat generation term, and the temperature distribution of target before and after the melting. In particular, after target melting, the temperature distribution and the interface position between the solid and liquid phases as functions of time are presented in the solution of analytical expressions. Additionally, under the energy balance conditions, the dependence of the ablating surface position on the time is investigated. Consequently, the ablation of target Si has been calculated. This research shows a positive result compared with the relevant experiments.
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