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In situ assessment of the roughness of a uniformly eroded cylindrical magnetron target
作者
Muhammad Arif,
Thomas Ernstbrunner,
C. Eisenmenger‐Sittner
出处
期刊：
Vacuum
[Elsevier BV]
日期：2016-09-23
卷期号：138: 205-212
被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2016.09.015
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