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Hopping conduction range of heavily Al-doped 4H-SiC thick epilayers grown by CVD
作者
Shiyang Ji,
Kazuma Eto,
Sadafumi Yoshida,
Kazutoshi Kojima,
Yuuki Ishida,
Shingo Saito,
Hidekazu Tsuchida,
Hajime Okumura
出处
期刊:
Applied Physics Express
[Institute of Physics]
日期:2015-11-19
卷期号:8 (12): 121302-121302
被引量:19
标识
DOI:10.7567/apex.8.121302
摘要
Hopping conduction range of heavily Al-doped 4H-SiC thick epilayers grown by CVD, Ji, Shiyang, Eto, Kazuma, Yoshida, Sadafumi, Kojima, Kazutoshi, Ishida, Yuuki, Saito, Shingo, Tsuchida, Hidekazu, Okumura, Hajime
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