Optimal Design of WET Etching Bath for 3D Flash Memories Using Multi-Objective Bayesian Optimization

贝叶斯优化 闪光灯(摄影) 计算机科学 闪存 贝叶斯概率 蚀刻(微加工) 材料科学 嵌入式系统 人工智能 纳米技术 光学 物理 图层(电子)
作者
Miyuki Kouda,Yumi Mori,Tomohiko Sugita,Youyang Ng
标识
DOI:10.1109/issm64832.2024.10874985
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