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Hybrid integrated Si nanosheet GAA-FET and stacked SiGe/Si FinFET using selective channel release strategy

纳米片材料科学光电子学纳米技术晶体管场效应晶体管可制造性设计频道（广播）电气工程工程类电压

作者

Fei Zhao,Xiaofeng Jia,Huaizhi Luo,Jiayi Zhang,Xiaotong Mao,Yan Li,Jun Luo,Wenwu Wang,Yongliang Li

出处

期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2023-03-25 卷期号：275: 111993-111993 被引量：8

标识

DOI：10.1016/j.mee.2023.111993

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