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Tailoring of titanium thin film properties in high power pulsed magnetron sputtering

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作者
Baohua Wu,Yan Yu,Jian Wu,Ivan Shchelkanov,D. N. Ruzic,Nan Huang,Y.X. Leng
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2018-02-06 卷期号：150: 144-154 被引量：25
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2018.01.039
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