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Structural, optical and dielectric characterization of Au/HfO2/(Pt,TiN) capacitors

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作者
F. El Kamel,Z. Ben Cheikh,M.A. Soussou,A. Moadhen,K. Khirouni
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2017-11-09 卷期号：645: 282-289 被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2017.10.061
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