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Effect of atomic layer deposited Al2O3 and subsequent annealing on the nanomechanical properties on various substrates

纳米压痕 材料科学 退火（玻璃） 复合材料 薄膜 弹性模量 断裂韧性 立方氧化锆 结晶 图层（电子） 纳米技术 化学工程 陶瓷 工程类
作者
Zhezhen Fu
出处
期刊：Journal of Materials Science [Springer Nature]
日期：2021-01-26 卷期号：56 (13): 7879-7888 被引量：3
标识
DOI：10.1007/s10853-021-05804-6
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