Correlating device behaviors with semiconductor lattice damage at MOS interface by comparing plasma-etching and regrown recessed-gate Al2O3/GaN MOS-FETs

材料科学 光电子学 异质结 感应耦合等离子体 等离子体刻蚀 蚀刻(微加工) 等离子体 纳米技术 图层(电子) 量子力学 物理
作者
Liang He,Liuan Li,Fan Yang,Yue Zheng,Jialin Zhang,Taotao Que,Zhenxing Liu,Jinwei Zhang,Qianshu Wu,Yang Liu
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:546: 148710-148710 被引量:18
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2020.148710

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