High-quality laser slicing of single-crystal semiconductors guided by energy-dependent phase transition and crack propagation: A 4H-SiC case study

材料科学 切片 激光器 成核 断裂力学 半导体 工作(物理) 相(物质) 热的 各向异性 相变 堆积 亚稳态 分子动力学 纳秒 开裂 复合材料 断裂(地质) 机械
作者
Zelong Qing,B. J. Liu,Yaoen Luo,Yi Zhang
出处
期刊:International Journal of Machine Tools & Manufacture [Elsevier BV]
卷期号:215: 104365-104365 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.ijmachtools.2026.104365
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