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Epitaxial growth of highly stacked SiGe(:B)/Si multilayers without strain relaxation for vertically stacked device applications

材料科学外延亚稳态拉伤光电子学化学气相沉积硼放松（心理学）制作兴奋剂应力松弛半导体微观结构凝聚态物理硅薄膜透射电子显微镜变形（气象学）基质（水族馆）金属有机气相外延电子迁移率动力学蒙特卡罗方法结晶学高分辨率透射电子显微镜纳米结构应变工程纳米技术

作者

Dongmin Yoon,Seonwoong Jung,Hyerin Shin,Seokmin Oh,Jungwoo Kim,Dae-Hong Ko

出处

期刊：Materials Today [Elsevier BV]
日期：2025-12-30 卷期号：92: 425-435 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.mattod.2025.12.030

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