Impact of Different Gate Dielectric Materials on Analog/RF Performance of Dielectric-Pocket Double Gate-All-Around (DP − DGAA) MOSFETs

材料科学 栅极电介质 电介质 栅氧化层 光电子学 助推器(火箭) 高-κ电介质 电气工程 电压 晶体管 工程类 航空航天工程
作者
Vaibhav Purwar,Rajeev Gupta,Himanshi Awasthi,Sarvesh Dubey
出处
期刊:Silicon [Springer Science+Business Media]
卷期号:14 (15): 9361-9366 被引量:5
标识
DOI:10.1007/s12633-021-01624-0
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