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作者
Kai Arstila,
Thomas Hantschel,
Cindy Demeulemeester,
Alain Moussa,
Wilfried Vandervorst
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier]
日期：2008-12-09
卷期号：86 (4-6): 1222-1225
被引量：13
标识
DOI：10.1016/j.mee.2008.11.061
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