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X-ray reflectivity studies on DLC films deposited by microwave ECR CVD: Effect of substrate bias

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作者
S.B. Singh,A.K. Poswal,M. Pandey,R.B. Tokas,Navin Chand,Sandip Dhara,B. Sundaravel,K.G.M. Nair,N. K. Sahoo,D.S. Patil
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2008-09-28 卷期号：203 (8): 986-991 被引量：10
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2008.09.022
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