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Damascene test structures for the evaluation of barrier layer performance against copper diffusion
作者
P. Motte,
M. Swaanen,
J. Torrès,
Jean Marc Gilet,
G. Wyborn
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2001-03-01
卷期号：55 (1-4): 291-296
被引量：5
标识
DOI：10.1016/s0167-9317(00)00459-7
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