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Chemical etching mechanism and properties of microstructures in sapphire modified by femtosecond laser

蓝宝石 飞秒 材料科学 微观结构 蚀刻（微加工） 激光器 各向同性腐蚀 拉曼光谱 激光功率缩放 光电子学 光学 复合材料 图层（电子） 物理
作者
Manyu Liu,Youwang Hu,Xiaoyan Sun,Cong Wang,Jianying Zhou,Xinran Dong,Kai Yin,Dongkai Chu,Ji’an Duan
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2016-12-28 卷期号：123 (1) 被引量：15
标识
DOI：10.1007/s00339-016-0664-9
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