Ductile machining of single-crystal silicon for microlens arrays by ultraprecision diamond turning using a slow tool servo

作者

Mao Mukaida,Jiwang Yan

出处

期刊：International Journal of Machine Tools & Manufacture [Elsevier BV]
日期：2016-11-27 卷期号：115: 2-14 被引量：190

标识

DOI：10.1016/j.ijmachtools.2016.11.004

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