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Enhancing the Performance of MEMS Piezoresistive Pressure Sensor Using Germanium Nanowire

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作者

S. Maflin Shaby,M. S. Godwin Premi,Betty Martin

出处

期刊：Procedia Materials Science [Elsevier BV]
日期：2015-01-01 卷期号：10: 254-262 被引量：19

标识

DOI：10.1016/j.mspro.2015.06.048

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